電火花線切割機(jī)床半導(dǎo)體材料是一種硬脆性材料，因其獨(dú)特的物理和機(jī)械性能。已成為尖端科學(xué)技術(shù)中應(yīng)用最為廣泛的材料。世界各國(guó)在投入大量人力物力開發(fā)新材料的同時(shí)，對(duì)這些半導(dǎo)體材料的機(jī)械加工技術(shù)進(jìn)行了廣泛的研究。

電火花線切割機(jī)床是電火花加工機(jī)床的一種，它以根沿本身軸線運(yùn)動(dòng)的細(xì)金屬絲作為工具電極，沿著給定的軌跡加工出相應(yīng)幾何圖形的工件。電火花線切割加工的基本原理，是利用線電極對(duì)金屬進(jìn)行脈沖放電來蝕除金屬的。線切割機(jī)床目前主要用來加工模具、樣板、成形刀、異形窄槽或特種稀有貴重金屬以及復(fù)雜形狀的薄片，面目不需開制模具。只要利用線切割機(jī)床編出程序進(jìn)行切割，保證每次加工出的形狀尺寸與要求相同。

由于電火花線切割機(jī)床半導(dǎo)體材料的電阻率較高，因此其作為工件本身在回路中就可以看成是一個(gè)很大的等效電阻。它的體積熱源作用是明顯的。其較高的熱傳導(dǎo)系數(shù)，要求采用較窄的脈沖寬度，而較低的比熱和較低的熔點(diǎn)。使得在相同的脈沖能量下，具有較高的加工速度。而采用電火花線切割機(jī)床多角度加工半導(dǎo)體材料，是可行的，而加工速度、光潔度、精度也比較高，都能達(dá)到使用要求，是機(jī)械加工無法比擬的。

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